様々な分野で採用されています

半導体機器

半導体の分野では、極細線による集積回路の微細配線を高速ボンディングするワイヤーボンダー、シリコーンウエハ加工時の純水流量コントロール、超音波流量計など、アクチュエータや超音波発振・受信に圧電セラミックスが機能しています。

使用されている圧電セラミックス製品

ワイヤーボンダ―(超音波溶着機)
圧電応用製品群 ランジュバン型超音波振動子
加工時の純水流量管理(超音波流量計)
圧電素子製品群 PZT系ソフト材素子
部品洗浄(超音波洗浄機)
圧電素子製品群 PZT系ハード材素子
圧電応用製品群 ランジュバン型超音波振動子
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